按介电材料划分，常见的有石英管（玻璃的一种）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等几种类型。使用各类介电材料制造的臭氧发生器市场上均有销售，其性能各有不同，玻璃介电体成本低性能稳是人工制造臭氧使用最早的材料之一，但机械强度差。陶瓷和玻璃类似但陶瓷不宜加工特别在大型臭氧机中使用受到限制。搪瓷是一种新型介电材料，介质和电极于一体机械强度高、可精密加工精度较高，在大中型臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。
按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。
臭氧发生器是来自德国技术的产品德国安思罗斯公司ANSEROS的臭氧发生器，德国WEDICO的发生器。
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其反应的化学方程式为3O2====2O3
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